在半導體科技中
金屬鈦的應用十分重要,主要體現在薄膜材料和電極材料的領域
鈦被用作薄膜材料,例如鈦氮化物(TiN)和鈦碳化物(TiC)薄膜,這些薄膜在半導體製造中作為導電層和阻擋層
能夠提升器件的性能和可靠性
鈦的高熔點和化學穩定性使其適合作為濺鍍靶材,在薄膜沉積過程中形成均勻的高品質薄膜
此外
鈦被應用於互連層中的電極材料,能夠改善導電性和降低接觸電阻
提升半導體器件的效能
鈦的優良導電性和耐腐蝕特性使其在製造過程中表現出色
進一步推動了半導體技術的發展